報告題目：ROAD TO THE DEVELOPMENT OF MECHANICAL SENSORS USING PIEZORESISTIVE EFFECT

報  告  人: 杉山進  教授（Prof. Sugiyama Susumu）

報告時間：2022年5月20日 下午14:00

報告地點：線上（https://teams.live.com/meet/9588389833612）

研究生院 機電工程學院

2022年5月19日

報告人簡介：

杉山進教授是日本MEMS技術的先驅、開拓者和領軍人物，被譽為“日本MEMS之父”，帶領豐田中央研究所半導體研究所的科學家和技術人員首次實現(xiàn)CMOS和MEMS傳感器集成，發(fā)明了第一代用于汽車安全氣囊的加速傳感器，開拓了MEMS產(chǎn)業(yè)化時代；1997年加入立命館大學（Ritsumeikan University），創(chuàng)立了MEMS加工實驗室和參與創(chuàng)建了立命館同步輻射加工中心，在LIGA技術上作出了突出貢獻。杉山進教授是電氣工程師學會會員、日本應用物理學會成員、日本機器人協(xié)會成員、日本機械工程師學會成員、日本電子產(chǎn)品封裝研究所成員、美國電氣和電子工程師學會成員，并獲得了日本文部省大臣獎，日本電子電氣學會終生成就獎。